機器概要：

位置精度の高い自動試料台と高感度性能により、微小異物に対して迅速な走査と検査を行うことができ、電子基板など複合材料製品の微小特定部位に対して定点精密測定を実施することもできる。

特徴：

1.高速スキャン

最大150万CPSの高計数率検出器で高感度の測定を完了し、最大250 mm×200 mm範囲でスキャンする高速電動サンプル台を用いて、高速スキャン測定を実現した。範囲が100 mm×100 mmの場合は、2〜3分以内に端子部分の鉛を検出してその位置を特定することができる。

2.連続多点測定

連続多点測定には最大500の測定位置を指定できます。自動測定方式を採用しているため、大量のサンプルを測定しても、高効率を発揮することができます。

3.高精密重ね合わせ

Telecentric Lensシステムと高速？高精度XYプラットフォームで、元素走査像と光学結像を重ね合わせて微小部品の中心部分の目標元素も簡単に観察できる。最大250 mm×200 mm上方観察であり、広域位置の最小誤差が100μm以内の正確な位置決めを実現することができる。

4.微小部位測定

FTシリーズで公認されているメッキ膜厚測定器はEA 6000 VXである。極薄のメッキなどの膜厚測定はもちろん、メッキ時計に含まれるPbなどの有害物質分析の膜圧測定と同時に膜厚測定を行うことができる。例えば、鉛フリーはんだめっき層及びリードフレーム上のSnめっき層、無電解Niめっき膜に含まれる有害物質の濃度測定を行うこともできる。

5.環境中規制物の測定

RoHSなどの規制物の高感度測定、樹脂、金属などに含まれる微量環境規制物を短時間で測定する。複合サンプルについても特定の部位に集中して測定することができる

6.軽元素測定

ヘリウム充填オプションを装着することで、ナトリウム開始の軽元素を分析することができる。測定中に独立して運転できるヘリウムガスシステム。使用コストを最大化して削減します。

7.透視スキャン機能

ノートや携帯電話など、外装を通して内部構造を見ることができない製品は、分解することなく基板上のPbだけでなく、その他の様々な要素のスキャン図を得ることができます。X線照射後に得られた元素スキャン画像を比較することで、製品内部の部品構造に関する様々な情報を知ることができる。

8.異物検出EA 6000 VX

EA 6000 VXは、高速スキャン機能により、広い範囲（最大250 mm×200 mm）に含まれる数十μmの微小金属異物を数分で検出し、その具体的な位置を特定することができる。樹脂などの有機物内部に残っている微小・微量の金属異物も検出できる。

9.絶対安全・安心な操作性

自動接近・衝突防止機能操作台上のサンプルが一旦起動設定されると、自動的にサンプルの最大高さを測定し、最適な測定高さに移動する。複雑な形状のサンプルでも、オペレータが簡単に測定できます。また、操作マニュアルで測定高さを調整しても、衝突防止センサーを取り付けているので、サンプルに損傷を与えることはありません。

モデル名：EA6000VX

X線源：50 kV、1 mA、空冷式

検出器：半導体検出器（液体窒素不要）

一次フィルタ：6種類のモード自動切り替え

コリメータ：0.2、0.5、1.2、3 mm自動切替

試料室の大きさ：W 580 mm×D 450 mm×H 150 mm
250 mm×200 mmサンプルの全面測定が可能